2024年12月4日下午,金沙威尼斯欢乐娱人城“智能驱动、新质发展”系列学术报告会在新机械楼513举行。本次报告会邀请张磊教授作学术报告,报告题目为“集成电路先进装备的关键技术与创新制程”。讲座由金沙威尼斯欢乐娱人城于犇老师主持,学院相关专业领域的教师及学生参加了本次学术活动。
在本次报告中,张磊教授介绍了集成电路产业群分布和规模,指出了集成电路装备支撑产业发展的基石性作用,详细阐述了集成电路装备的前沿技术和发展趋势,展示了团队最新的研究成果。针对晶圆级封装和晶圆物理清洗面临的关键技术难题,张磊教授团队提出全新的解决方案,包括创新的声咏涂胶制程和单分散清洗装置。针对复杂的机理性问题,提出了特色的介尺度多场微流体模型框架,实现介尺度流的热场扩散相变、微颗粒耦合以及熔融凝固,揭示了微流体相互作用的科学问题,为集成电路装备和创新制程提供了重要的理论支撑。最后,针对美国新一轮的半导体出口管制和实体清单,张磊教授鼓励同学们积极投身到半导体产业,树立科技报国志向,为国家半导体产业发展贡献力量。
附:张磊,金沙威尼斯欢乐娱人城金沙威尼斯欢乐娱人城教授、博士生导师。沈阳市集成电路高端晶圆创新中心副主任,辽宁省集成电路创新联合体理事,国家新型显示创新技术联盟理事。长期从事集成电路装备与创新制程、高精密喷墨与光刻胶雾化涂胶的研究工作,主持承担国家自然科学基金、辽宁省创新联合体重大专项等项目,学术成果获得Lab on a Chip期刊封面刊载(Outside Front Cover)和Physics of Fluids期刊编辑亮点(Editor's Pick),第一完成人获得2021年度辽宁省技术发明二等奖。