张磊

发布时间:2024-08-08浏览次数:4186

1. 个人简介

张磊,山东诸城人,19813月生。金沙威尼斯欢乐娱人城金沙威尼斯欢乐娱人城教授、博士生导师,沈阳市领军人才,沈阳市集成电路高端晶圆创新中心副主任,辽宁省集成电路创新联合体理事,国家新型显示创新技术联盟理事。长期从事集成电路光刻装备与创新制程、高精密喷墨与光刻胶雾化涂胶、新型显示OLED喷墨装备的研究工作,主持承担国家自然科学基金、辽宁省创新联合体重大专项、广东省新型显示璀璨行动等项目,第一作者发表SCI学术论文20多篇,获得Lab on a Chip期刊封面刊载(Outside Front Cover)和Physics of Fluids期刊编辑亮点(Editor Pick)。授权发明专利十余项,多项关键技术实现产业转化,获得2018年度辽宁省自然科学学术成果奖和2021年度辽宁省技术发明二等奖(排名1)。

2. 研究方向

1)集成电路光刻装备与创新制程

2)新型显示OLED喷印制造装备

3)光伏能源金属化栅极喷印装备

3. 教育背景

2012.3-2016.1  中国科学院大学  机械电子工程  博士学位

2004.9-2007.9  中国科学院研究生院  计算机应用技术  硕士学位

2000.9-2004.7  中南大学  自动化  学士学位

4. 工作经历

2024.1-至今     金沙威尼斯欢乐娱人城  教授/博士生导师

2019.03-2023.12  金沙威尼斯欢乐娱人城  副教授/博士生导师

2007.09-2019.02  中国科学院沈阳自动化研究所   副研究员/硕士生导师

5. 科研项目

(1). 国家自然科学基金(面上项目),激光开膜的晶硅太阳电池栅极喷墨打印成形 与Ag/Si接触机理研究,2019.1-2022.12, 项目负责人

(2). 辽宁省集成电路创新联合体重大专项,集成电路先进制程用高产能物理清洗装备研制,2023.7-2025.12,课题负责人

(3). 辽宁省应用基础研究计划,MEMS晶圆的光刻胶精细雾化与涂胶显影制程,2022.6-2024.6,项目负责人

(4). 中央高校基本科研业务费(战略新兴),晶圆级封装的高精度光刻胶雾化技术研究,2021.1-2022.12,项目负责人

(5). 技术转化项目,8/12英寸晶圆喷印涂胶工艺研发,2022.10-2023.12,项目负责人

(6). 技术转化项目,高精度喷墨图形优化算法与多墨路研制,2023.8-2025.8,项目负责人

6. 发表论文(5篇代表作)

(1) Li J, Wang X, Yang F, Sun Y, Zhang Lei*. Acoustic Modulation and Non-Contact Atomization of Droplets Based on the Fabry–Pérot Resonator. Lab on a Chip. 2024;24(9):2418-2427. Outside Front Cover

(2) Wang X, Yang F, Guo G, Li J, Sun Y, Zhang Lei*. Inkjet Printing Photoresist with Ultralow Viscosity on Silicon Wafers for Uniform Coating. Langmuir. 2024;40(21):11125-11133.

(3) Zhang Lei*, Wang X. Evaporation-driven Nanoparticles Motion and Deposition on a Textured Surface in the Inkjet Process. Engineering Applications of Computational Fluid Mechanics. 2021;15(1):644-655.

(4) Zhang Lei*, Cheng X, Zhu Y, et al., Geometrical Morphology of Inkjet-printed Finger Electrodes on Untreated Multi-Crystalline Silicon Solar Cells, IEEE Journal of Photovoltaics, 2019; 9(2):571-577.

(5) Zhang Lei*, Ku T, Cheng X, et al., The Role of Wettability of Non-ideal Nozzle Plate: from Drop-on-Demand Droplet Jetting to Impact on Solid Substrate, AIChE Journal, 2018; 64(7):2837–2850.

7. 学术获奖

12021年度辽宁省技术发明二等奖(排名1

22018年度辽宁省自然科学学术成果奖(排名1

8. 联系方式

南湖校区新机械楼539#

个人主页:http://faculty.neu.edu.cn/zhanglei/

Email: zhanglei@me.neu.edu.cn